Hellma 氟化鈣（CaF?）折射率

基礎折射率定值：

1. 關鍵波長精準折射率（直接用于光學設計建模）

   
   

2. 
   

2.色散核心參數（決定鏡頭色差設計）

阿貝數 Vd=95.23，已知光學材料中色散低一檔，193nm 光刻物鏡消色差選擇；

Sellmeier 色散公式由 Hellma 原廠提供，可代入任意波長精確計算折射率，用于 Zemax/CodeV 仿真建模。

不同應用場景折射率成套選型方案

方案 1：193nm ArF 光刻系統

晶向：強制(111)

等級：LD-A

設計折射率：n???=1.50143

附加指標：均勻性 1ppm、雙折射≤0.5nm/cm、氣泡夾雜 1×0.1mm 以內

價值：保證整顆鏡片折射率一致，納米級投影無波前畸變

方案 2：248nm KrF 光刻 / 準分子激光打標

晶向：(100) 可降本

等級：LD-B

折射率：n???=1.4708

方案 3：紅外測溫、中紅外真空窗口

晶向：隨機 /(100) 均可

等級：LD-D 工業級

折射率按 3~5μm 紅外波段取值 1.415 左右

方案 4：科研深紫外干涉儀、光束質量檢測

晶向：(111)

等級：LD-A

重點管控：折射率空間均勻性、偏振態帶來的等效折射率差