半導體與微電子制造

PKL 防水防護直線電機導軌、高度滾柱滑軌，用于晶圓搬運平臺、芯片檢測工位、半導體封裝設備，無間隙預緊滾柱結構杜絕微位移偏差，適配無塵車間潔凈工況。

（一）F?hrenbach手動燕尾槽滑軌系列（SO/SE/SS/SM/SK/SH）

SO 系列（開放式燕尾滑軌）

基礎開放型結構，無端部擋板，安裝靈活，可自由加裝限位、氣缸、微調配件；標準寬度 30–400mm，行程 35–1800mm，通用工裝基準滑軌。

SE 系列（帶端板燕尾滑軌）

兩端配備限位端板，預留安裝孔位，可直接裝配限位塊、千分尺、小型氣缸，適合固定行程限位微調工位。

SS 系列（絲桿驅動數顯燕尾滑軌）

內置精密梯形絲桿，75mm 及以上規格標配外置數字位置顯示器，多角度可視讀數，快速精準定位，批量檢測工裝型號。

SM 系列（千分尺微調燕尾滑軌）

滾花紋千分尺旋鈕，標準刻度 0.02mm，75–200 規格可選 0.01mm 刻度，微量微調，光學鏡頭、顯微鏡載臺用。

SK 系列（十字手搖柄燕尾滑軌）

十字曲柄手搖驅動，300mm 大行程規格加裝手輪，適合長行程手動往復調節，焊接工裝、檢測治具。

SH 系列（刻度手輪燕尾滑軌）

環形刻度手輪，標準分度 0.02mm，75–400 規格可選 0.01mm 刻度，操作順滑，重復性微調工位。

（二）F?hrenbach手動滾柱軸承滑軌系列（RO/RE/RS/RM/RK/RH/RA）

同尺寸匹配燕尾滑軌安裝孔位，可互換裝配，預緊 V 型滾柱消除間隙，摩擦阻力更低：

RE/RS：絲桿驅動滾柱滑臺，RS 集成數顯讀數；

RM：千分尺微調滾柱款，高微量定位；

RK/RH：手搖柄 / 刻度手輪長行程滾柱滑軌；

RA：全密封防塵防水特殊密封款，配備毛氈 / 尼龍刮屑板，適用于粉塵、切削液輕度污染環境。

（三）F?hrenbach絲桿驅動電動導軌滑臺系列

KBS/KCS 球套導軌滑臺

V 型軸支撐滾珠結構，緊湊型高彎矩承載，體積小、抗扭轉，小型自動化模組。

PFS/PCS 型材導軌電動滑臺

鋁合金型材底座，標準鈑金防護罩，通用機床、自動檢測設備。

MR/MS 重載電動滑臺

MS 電動燕尾導軌、MR 電動滾柱導軌，100–400mm 寬重載規格，重型工裝、非標專機。

（四）F?hrenbach直線電機精密導軌滑臺（PFL/PCL/PKL）

三大防護型號，導軌采用高精度型材導向，底座可選鋁合金、鑄鐵 GG25、鋼材 C45：

PFL：風琴伸縮防護罩，防塵通用型，實驗室、光學檢測主流型號；

PCL：金屬鈑金封閉式防護罩，防塵防水，自動化產線；

PKL：冷卻液防護結構，適配磨削、切削帶乳化液工況機床。

精度高 Ultra-Precision plus 等級，重復定位精度 0.5μm。